为迎接台积电3纳米厂研发及先期量产，中国台湾地区环保署11日初审通过竹科宝山用地扩建计划。另台积电在会中首度透露，预计把5年后的2纳米厂研发及量产都落脚在竹科，以避免研发人才散掉或外流的风险。
新竹科学园区自2000年后，面临土地饱和问题，为打造半导体人才聚落，台积电盼以竹科作为未来先进制程重要基地，扩大新竹园区范围，预计在新竹园区南侧、新竹县宝山乡分作东侧园区及西侧社区两部分扩建，总面积约33公顷，可望引进产业活动人口约2,300人。
有环评委员认为，宝山基地并不适合再兴建厂房，除地形是山坡地，还要考虑用水、交通等问题，会中一度建议台积电应把3纳米研发厂房移至他处。
台积电厂务处资深处长庄子寿回应表示，目前研发（RD）厂就在宝山基地右侧，但现有RD厂只能做到5纳米，3纳米以下厂房标准、高度，必须配合新规定而扩大厂房。
他强调，台积电RD工程师约有7,000位，必须把这些工程师人才留在新竹，倘若比照其他同业把RD厂搬去台南，“人才可能会散掉”。
3纳米量产厂房在南科是尘埃落定的计划，庄子寿说，未来如何把RD工程师转换到先进2纳米厂才是重点，因准备土地要花3到5年时间，从现在考虑到5年后，也就是说，假设2纳米厂须放在新竹，才能把部分工程师从研发转换到工厂。
庄子寿强调，宝山用地虽是竹科过去30年来没办法使用的土地，但台中7纳米厂开发，让台积电对山坡地建厂比较有经验，想大胆尝试使用宝山用地，是为了科技产业布局，考量要把台积电7,000名半导体制程研发人才继续留在新竹工作，拟嚐试用较高成本，开发这块基地。
最后环评小组决议，建议通过新竹宝山用地环境影响评估审查，开发单位须针对集水范围土壤液化潜势、河川水质评估、施工营运期间交通冲击等再作补充说明，全案交由环评大会审查。
竹科宝山用地扩建计划因具山坡高低差坡地开发问题，及对新竹市交通冲击等问题，先前在环评小组会议二度都未过关。台积电创办人张忠谋先前曾表示，3纳米制程将在2年内开发成功，即使有“摩尔定律”失效挑战，2纳米仍可能在2025年前问世。